silicon micromachining

Giải thích VN: Việc sử dụng các kỹ thuật hóa chất và plasma vào thiết b ị chế tạo thu nhỏ và các thành tố thông qua việc sử dụng vật liệu silicon kết tinh [[đơn. ]]

Giải thích EN: The use of various chemical and plasma techniques to fabricate miniaturized devices and components through the use of a single-crystal silicon material.